欧洲杯体育该型号"更相宜多量量分娩"-开云(中国大陆)kaiyun网页版登录入口
IT 之家 2 月 1 日音尘,ASML 总裁兼首席奉行官 Christophe Fouquet 在上月末的公司 2024 年第四季度财报电话会议上示意,该企业的首台第二代 0.55 ( High ) NA EUV 光刻机 TWINSCAN EXE:5200 行将以"早期器用"的身份驱动发货,用于时间练习度考证。
▲ EXE:5000 系统
EXE:5200 是现存初代 High NA EUV 光刻机 EXE:5000 的改造款,字据 Christophe Fouquet 的说法,该型号"更相宜多量量分娩"。而 EXE:5000 当作初期版块主要用于 High NA EUV 光刻时间的建造。
从 ASML 光刻系统的迭代轨则来看,EXE:5200 瞻望将领有更高的晶圆微辞量(IT 之家注:EXE:5000 为每小时 185 片以上),同期维持更为精良的后 2nm 逻辑半导体工艺。
▲ NXE:3800E 系统
Christophe Fouquet 还提到,其 0.33 ( Low ) NA EUV 光刻机的最新式号 NXE:3800E 已在工场已毕每小时 220 片的运筹帷幄晶圆微辞量欧洲杯体育,较初期的 185 片进一步晋升,比前一代的 NXE:3600D 已进步 37.5%,充分领略了结构改造带来的上风。